[STi] 반도체용 포커스링 합성쿼츠 소재 제조기술 국산화 성공 (주)에스티아이 2022-07-29 |
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· STI, 반도체용 포커스링 합성쿼츠 소재의 제조기술 국산화 성공시키다! STI, 반도체용 포커스링 합성쿼츠 소재의 제조기술 국산화 성공시키다! 발행일 : 2022-07-28 16:00 지면 : 2022-07-29 16면
광섬유모재 제조기술을 응용, 포커스링 잉곳 생산 및 장비까지 국산화 합성쿼츠 제조장비 독자 개발...소재 불모지인 국내 쿼츠시장 선도 목표 새 정부가 반도체 산업에 드라이브를 걸고 있지만 반도체 제조공정의 핵심이라고 할 수 있는 '합성쿼츠(Synthetic Quartz)'는 그동안 전량 수입에 의존했었다.
<에스티아이 사공준 부장(왼쪽)과 유재명 광연구소 선임이 합성쿼츠를 선보이고 있다>
에스티아이는 한국세라믹기술원과 산·연 협력으로 지난 2020년 일본이 독점해온 합성 석영유리 소재 국산화 및 양산에 성공했고,
<반도체 식각장치의 쿼츠링 위치 이미지> 수명이 긴 합성쿼츠 소재로 포커스링을 사용함으로써 효율을 높일 수 있다. 포커스링은 특히 '하이 파워 플라즈마(High Power Plasma)'의 극한 환경에 노출돼 쉽게 식각 되기 때문에 주기적 교체가 필요한 소모성 부품이다. 향후 꾸준한 매출이 기대되는 이유다. <천연쿼츠와 합성쿼츠 비교표>
합성쿼츠는 반도체 생산공정에 적합하도록 개발된 소재다. 내마모성과 빛 투과율이 뛰어나고 기공(Micro Bubble)이 없어 17㎚ 이하로 집적화돼 가고 있는 반도체 식각 공정에 유용하다. 합성쿼츠의 우수성이 알려지면서 반도체 산업 분야에서는 기존 천연쿼츠 상당 부분을 합성쿼츠로 대체하고 있다. 전문가들은 세계 천연쿼츠 시장이 현재 5조원 수준으로 추정하고 있고, 향후 이 가운데 30%를 합성쿼츠가 대체할 것으로 내다보고 있다. <에스티아이가 국산화한 합성쿼츠 투과율 데이터> 실제로 천연결정이나 실리카 분말(석영모래)을 고온에서 녹여 만든 천연쿼츠 경우 아무리 세척해도 원료에
일정량의 불순물이 남아있다. <반도체 식각 공정에서 포커스링의 기능에 대한 이미지> 전 세계적으로 IT 플랫폼과 5G 시장이 확대되고 전기차와 자율주행차 시장이 활성화되면서 수요를 따라잡기 위해 반도체 제조사들의 투자가 크게
늘고 있다.
<가공한 합성쿼츠>
잉곳 성장
기술은 물론, 고열가스를 이용해 OH를 제거하는 공정제어
기술까지 보유하고 있다. 에스티아이가 개발한 반도체용 포커스링 합성쿼츠는 VAD법으로 제조하고 있다.
출처: 전자뉴스(Etnews)
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